真空設(shè)備專業(yè)生產(chǎn)廠家不乏檢測儀表和專業(yè)技術(shù)人員，并有相當(dāng)豐富的維修經(jīng)驗，因此，真空設(shè)備的檢測和維修應(yīng)該是沒有問題的。而作為用戶，除非技術(shù)力量雄厚，但許多用戶一般不具備或不完全具備條件來進行真空設(shè)備的維修。

問：維修真空設(shè)備的要點是什么?

答：維修真空設(shè)備的要點是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之。這時，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候，關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時候應(yīng)先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。

問：用戶最頭痛的是什么?

答：用戶最頭疼的是檢測漏率問題。漏分內(nèi)漏和外漏；外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。我們用自制的檢漏儀可以在旋片泵工作范圍內(nèi)進行檢漏，現(xiàn)在已經(jīng)生產(chǎn)ZHC．1型儀表。該檢漏儀表用ZJ．2電離規(guī)管，規(guī)管接在旋片泵吸氣口來檢測。若是擴散泵機組的話，可以檢測到l0Pa級的漏率。

問：小漏和微漏怎么查?

答：小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了，也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴射。最好是反復(fù)幾次，確認漏點。ZHC一1儀表也可以用上述方法來檢漏，不同的是ZHC．1儀表能在旋片泵工作范圍內(nèi)進行檢漏，而且不怕暴露于大氣中。

問： 內(nèi)漏和外漏怎樣查?

答：內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點。但是卻有以下現(xiàn)象；機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕，具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。有一臺25kg中頻爐，2X一70旋片泵和150羅茨泵兩臺泵加到一起抽也只能抽到l0Pa，150羅茨泵的作用顯現(xiàn)不出來，沒發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設(shè)備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水。剩下就是查出漏點。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。

問：故障點找出后怎么處理?

答：找出故障點就可以因地制宜地進行處理了，簡單的辦法是換件，小到膠圈、螺栓，大到閥門、真空泵，只要手頭上有的都可以換；對于需要焊接的部位應(yīng)按要求來進行，焊接后還需確認達到了要求。

問：維修應(yīng)注意哪些環(huán)節(jié)?

答：維修應(yīng)注意幾個環(huán)節(jié)、拆卸、清潔、檢驗、裝配。真空設(shè)備無論大小都屬于精密機械設(shè)備，這點很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時要干凈、徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問題和查出隱患；真空泵類產(chǎn)品與一般機械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應(yīng)多加小心，切記。

檢驗是個細致活，每個細節(jié)都不要落掉，更不能存在僥幸心理。有一臺設(shè)備，用戶存放4年了，做完了常規(guī)的清理工作按部就班地連接好管路開始抽真空，怎么也達不到出廠標(biāo)準，什么都查了，就是一根供氣的真空膠管沒查，當(dāng)時就認為真空膠管不會漏。結(jié)果恰恰相反，問題就出在這根真空膠管上。

再有，不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進行裝配，真空泵油若與其他的油或溶劑，或水混合會破壞其性能，影響真空泵的性能指標(biāo)。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無缺陷，如裂紋等。還有尺寸是否正確，特別注意相近尺寸直徑的，像 3.1 mm 與3 mm；5.7 mm與6 mm的尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時必須換，比如油增壓泵各個接口。裝配時泵件同樣需要輕拿輕放；緊螺釘時用力要均勻，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何。在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均勻，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣；軸封簧別擠出去，沒了軸封簧軸封就失效了，注意軸封與軸的同心度。有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸度要求很嚴格，裝配時要從軸的四面去量，保證平行一致。

羅茨泵的對齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個8型齒輪不相碰。擴散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國內(nèi)生產(chǎn)的擴散泵主要靠電爐絲的長短來控制泵油的溫度，擴散泵油的注入量就需要考慮當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)的實際情況來酌量增減，若K．400泵注油在分流槽上10 mm的話，K150泵就可以在分流槽上6 mm，泵的口徑大小不一樣注油量有差別；電網(wǎng)的電壓低注油可以減少2mm，只要是干凈的鋼直尺或鐵絲都可以用來測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量的多少只能供大家參考。維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當(dāng)然地開始動手拆卸，會舊病未除又添新病。把本來簡單的問題搞復(fù)雜化了。

問：應(yīng)急條件下設(shè)備出故障怎樣處理?

答：常規(guī)的維修可以按部就班地去做，應(yīng)急條件下設(shè)備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下，只要判斷故障準確，采用手頭上現(xiàn)有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料。只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進行修理。有一臺外地產(chǎn)的新鍍鏡機，正常工作月余，停機一天真空室門自己打開了，用戶急于恢復(fù)生產(chǎn)，自行拆檢忙了兩天，沒有解決問題。經(jīng)我們檢查發(fā)現(xiàn)是真空室門有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用戶盡快地恢復(fù)了生產(chǎn)。有一臺中頻爐，低真空時工作正常，在6Pa時就放電，經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)是l尖端放電造成的，根本解決問題的辦法是大修，需時一周。根據(jù)用戶急于使用的要求，用704硅膠封閉了l放電的尖端，第二天就能正常生產(chǎn)。有一臺真空設(shè)備，供熱密封采用刀口法蘭，用戶不慎使無氧銅墊出現(xiàn)了“雙眼皮”，造成漏氣。該密封處的溫度低于l100℃，用戶急用，用焊錫將無氧銅墊焊平，再用乙醇將松香清洗干凈，解決了該處的密封問題。應(yīng)急的原則是在不損壞設(shè)備和不影響在制品的條件下做到設(shè)備能正常生產(chǎn)。

問：主機與附件有什么關(guān)系?

答：還有一個重要問題是與主機配套的相關(guān)部件，有一臺離子滲氮爐，工作一段時間后出了問題，設(shè)備沒動，操作工藝沒變，就是工件不能進行離子滲氮。用戶和廠家查不出問題的所在，感到困惑。經(jīng)過試驗和查找，確定是配套的供氣管路出了問題。用戶用的是氧氣管，用戶認為氧氣管耐正壓沒問題，耐負壓也一定沒問題；其實不然。換管后問題解決了。我們建議國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)主機的同時為用戶提供相應(yīng)的配套裝置。有時配套裝置出的問題會影響主機。

問：真空設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。如何處理各種復(fù)雜問題?

答：現(xiàn)在真空設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域愈來愈廣，很多是與電、電磁、水、氣源和制冷有關(guān)的。不論是真空爐還是鍍膜設(shè)備都會碰到電氣部分出問題。相當(dāng)多的情況下不是電源部分的問題，這一點讓人不好理解。其中有的是機械裝配中不細心造成的，有的是絕緣材料或結(jié)構(gòu)上的問題。這時，不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸設(shè)備，應(yīng)認真分析故障現(xiàn)象或請教專門從事此項工作的人員。避免誤拆誤卸造成不必要的損失。有一臺專用設(shè)備，工作時發(fā)生放電現(xiàn)象，經(jīng)過對工作記錄的分析和與操作者的交流，得出不同的結(jié)論，有人認為電源有問題，有人認為是裝配過程的問題。最后，對設(shè)備進行了拆卸，重新裝配后放電現(xiàn)象消除了。有一臺磁控濺射鍍膜機，下半部的產(chǎn)品明顯好于上半部的，靶的外表看不出什么問題來，拿高斯計一試，上半部磁環(huán)退磁了。經(jīng)檢查原來是水路出了問題。調(diào)整了水路，換了磁環(huán)，產(chǎn)品上下一致的問題得到了解決。